УДК 621.382(06) Микроэлектроника А.В. СЕДОВ, В.О. ТУРИН, А.М. ЦЫРЛОВ1Орловский государственный технический университет1Открытое акционерное общество “ПРОТОН”, ОрёлTCAD МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВОГО ВЕРТИКАЛЬНОГО МОП-ТРАНЗИСТОРА С ДВОЙНОЙ ДИФФУЗИЕЙПроведено TCAD моделирование методом конечных элементов технологии производства кремниевого вертикального МОП-транзистора с двойной диффузией (Si-VDMOS) использующегося в оптическом реле К249КП5Р. Использование модели прибора с топологией и распределением легирующих примесей, полученными с помощью моделирования технологического процесса, повышает адекватность дальнейшего моделирования электрических характеристик прибора с использованием диффузионно-дрейфовой модели полупроводника. Получено хорошее совпадение результатов моделирования с результатами измерений.
Похожие работы
Альфред адлер: индивидуальная теория личности биографический очерк
АЛЬФРЕД АДЛЕР: ИНДИВИДУАЛЬНАЯ ТЕОРИЯ ЛИЧНОСТИ БИОГРАФИЧЕСКИЙ ОЧЕРКАльфред Адлер (Alfred Adler) родился в Вене 7 февраля 1870 года, третьим из шести детей. Как и Фрейд, он…
«Макроэкономические проблемы рф»
Секция 10. «Макроэкономические проблемы РФ»Руководитель – Еремина Марина Юрьевна, доцент кафедры «Экономика и управление»Место проведения: Аудитория 518 учебного корпуса 7 Голев Степан Вячеславович, «Камчатский государственный…
«Страна Буквляндия»
Всем учителям, которые убеждены в том, что при обучении иностранному языку удовольствие и успех идут вместе.УЧИМСЯ ЧИТАТЬ, ИГРАЯПисецкая Алина, НОУ “Аврора”БлагодарностьМне бы хотелось поблагодарить тех,…
Xvi международная конференция
XVI Международная конференция «Информационные технологии на железнодорожном транспорте» и выставка отраслевых достижений «ИНФОТРАНС-2011»11-12 октября, г. Санкт-Петербург, «Парк Инн Прибалтийская» IT-инновации для железнодорожного транспортаОрганизатор: ООО «Бизнес…
«фізика навколо нас»
Фізичний вечір на тему: «ФІЗИКА НАВКОЛО НАС»І. Вступ(Лунає музика.Виходять учні)Учень.УВАГА! УВАГА!На вечорі цьомуНемає артистів, еквілібристів,Дуетів,квартетів,славетних солістів.Ровесники, друзі,Тут ваші знайомі,Що разом із вами за партами сидять.Ми…
«экспресс каникулы в скандинавии» финляндия швеция обозначение тура: фш3
«ЭКСПРЕСС КАНИКУЛЫ В СКАНДИНАВИИ»ФИНЛЯНДИЯ – ШВЕЦИЯ Обозначение тура: ФШ3 Круиз по Балтийскому морю – ХЕЛЬСИНКИ – ТУРКУ – СТОКГОЛЬМ ОТЪЕЗД ИЗ САНКТ – ПЕТЕРБУРГА: на…